[发明专利]电熔丝结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201610554741.3 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107622991B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 永井享浩 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电熔丝结构及其制作方法。一种制作半导体元件的方法，包括：首先提供一基底，然后形成多个第一熔丝分支与多个第二熔丝分支于基底上，其中该多个第一熔丝分支及该多个第二熔丝分支是通过一浅沟隔离隔开，且该多个第二熔丝分支包含不同尺寸。之后再形成多个熔丝本体连接该多个第一熔丝分支及该多个第二熔丝分支。 | ||
| 搜索关键词： | 电熔丝 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种制作半导体元件的方法，包含：提供一基底；形成多个第一熔丝分支与多个第二熔丝分支于该基底上，其中该多个第一熔丝分支及该多个第二熔丝分支是通过一浅沟隔离隔开，且该多个第二熔丝分支包含不同尺寸；以及形成多个熔丝本体连接该多个第一熔丝分支及该多个第二熔丝分支。
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