[发明专利]静电放电保护电路有效

专利信息
申请号: 201610561689.4 申请日: 2016-07-15
公开(公告)号: CN107622999B 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 甘正浩;邵芳 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种静电放电保护电路,所述静电放电保护电路连接在一第一晶圆和一第二晶圆之间,所述第一晶圆包含有硅通孔,所述第二晶圆包含内部芯片电路,包括:阻变存储器、防静电元件以及开关控制单元。本发明通过开关控制单元、防静电元件以及阻变存储器组成的静电放电保护电路能够很好的实现静电放电过程,保护集成电路;而且,在静电放电完成后,通过开关控制单元控制阻变存储器处于高阻态,能够完全将静电放电保护电路与集成电路断开,彻底消除静电放电保护电路的寄生效应,以提高静电保护能力。
搜索关键词: 静电 放电 保护 电路
【主权项】:
一种静电放电保护电路,所述静电放电保护电路连接在一第一晶圆和一第二晶圆之间,所述第一晶圆包含有硅通孔,所述第二晶圆包含内部芯片电路,其特征在于,包括:第一单元,所述第一单元包括一第一阻变存储器和一第一防静电元件,所述第一阻变存储器的第一端连接所述第一防静电元件的第一端;第二单元,所述第二单元包括一第二阻变存储器和一第二防静电元件,所述第二阻变存储器的第一端连接所述第二防静电元件的第一端,所述第二防静电元件的第二端接地;开关控制单元,所述开关控制单元的一端连接所述第一单元中第一防静电元件的第二端;所述第一单元中第一阻变存储器的第二端和所述第二单元中第二阻变存储器的第二端均与所述硅通孔和内部芯片电路相连。
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