[发明专利]激光直接曝光设备及方法有效
| 申请号： | 201610567115.8 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106502056B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 庄俊智;胡永朋 | 申请（专利权）人： | 旭东机械工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 王春光 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种激光直接曝光设备及方法，其能使传统显像型液态防焊油墨曝光后的油墨光泽度媲美经传统汞灯曝光机的曝光效果。该设备包括一机台、一激光装置及一减氧装置。该机台具有一台面，供放置一待曝光基板。该激光装置设于该机台，用以输出一或多道激光束。该减氧装置与该激光装置连动，用以在该基板的表面建造一减氧环境，以使该激光装置得以在减氧环境下对该基板进行曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 曝光 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种激光直接曝光设备，其特征在于，所述激光直接曝光设备包括：一机台，具有一台面，供放置一待曝光基板，其中该台面暴露于大气环境中；一激光装置，设于该机台，用以输出激光束，以在该待曝光基板的表面进行扫描；以及一减氧装置，与该激光装置同步，用以只对该激光装置的激光束正在扫描的区域持续地输出惰性的气体，以确保该待曝光基板的正在被扫描的区域是在减氧环境下进行曝光。
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