[发明专利]可调平的版库设备有效
| 申请号： | 201610614615.2 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107664921B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 范永威;陈淮阳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可调平的版库设备，包括版库结构、转轴结构和框架结构；所述版库结构安装于所述框架结构，进而能够通过所述框架结构被所述转轴结构调平，所述版库结构还能够相对于所述框架结构被调平。 | ||
| 搜索关键词： | 框架结构 转轴结构 调平 结构安装 库设备 可调 | ||
【主权项】：
1.一种可调平的版库设备，其特征在于：包括版库结构、转轴结构和框架结构；所述版库结构安装于所述框架结构，进而能够通过所述框架结构被所述转轴结构调平，所述版库结构还能够相对于所述框架结构被调平；/n其中，所述转轴结构包括主转轴、调节机构、框架接口装置和万向轴承，所述主转轴的两端分别连接所述调节机构和万向轴承，所述主转轴还通过框架接口装置与所述框架结构固接，所述调节机构通过调整所述转轴的姿态位置实现所述框架结构及其上的版库结构的调平；/n所述版库结构和框架结构之间通过若干调平螺钉实现调平。/n
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