[发明专利]一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置

摘要

本发明公开了一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置，包括与扫描电镜相连接的真空腔体，其内部的二维平移台以及透射电镜样品杆偏心套筒；真空腔体前端与扫描电镜腔体法兰连接；真空腔体设置有二维平移台外接旋钮；腔体内部安装有用于实现SEM电子束成像区域精确选择的二维平移台，及其上的透射电镜样品杆偏心套筒，实现成像区域的Z轴微调。本发明结合TEM的高分辨成像和局部区域高精度成分获取和SEM能够获得大范围样品的形貌和成分的优点，实现精确定位样品研究区域、微观、纳米尺度相结合的研究样品的显微结构、成分、物相等信息；同时可用于对透射电镜加热、通电、液体及其一体化样品杆的初步测试，以保障透射电镜的安全。

主权项

一种SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：包括与扫描电镜法兰相连接的外真空腔体；安装在外真空腔体底部的二维台；偏心套筒用于TEM样品杆(1)的固定及密封；外真空腔体包括顶部开口式箱体主体、可拆卸密封盖(20)及密封盖上端可拆卸的观察窗(19)；TEM样品杆插入偏心套筒密封前端后与偏心套筒前法兰、偏心套筒腔体、偏心套筒后法兰通过螺栓相互固定，偏心套筒通过套筒支架放置二维台上；二维台从下至上依次包括移动台基板(11)、X/Y方向平移导轨(10)、水平移动板(9)及套筒支架(8)；包括两套推动单元，每套结构如下：推动杆安装于固定在推动杆支架上的微分筒前端，微分筒后端安装内磁环，与推动杆封头外的外磁环形成从动旋转机构；两套推动单元分别用于水平平移板的X/Y方向平移；水平移动板通过带有微分筒的推动杆(12)进行驱动，内磁环(15)通过腔体外磁环(17)的旋转驱动旋转，带动推动杆进行前进/后退的往复运动。