[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法有效
| 申请号： | 201610670016.2 | 申请日： | 2016-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN106468861B | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;高京俊;金正铉 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法，更详细地说，涉及如下的抗蚀剂剥离液组合物，该抗蚀剂剥离液组合物通过包含有机胺化合物、化学式1所表示的酰胺和在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂，从而显示出优异的剥离能力，与此同时，能够使对下部金属配线、绝缘膜的腐蚀最小化，并且经时稳定性优异，能够从根本上抑制自身反应导致的抗蚀剂剥离能力下降、副产物生成等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂剥离液 抗蚀剂剥离 有机胺化合物 经时稳定性 酸性取代基 剥离能力 苯并三唑 防腐蚀剂 金属配线 副产物 绝缘膜 最小化 苯环 酰胺 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含有机胺化合物、选自下述化学式2～4所表示的酰胺组成的组中的一种以上的化合物和在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂：化学式2![]()
化学式3![]()
化学式4![]()
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东友精细化工有限公司，未经东友精细化工有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610670016.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：自动剥纤系统和方法
- 下一篇：爆珠烟爆珠破爆自动检测仪
