[发明专利]X射线管真空度的检测方法有效
申请号: | 201610676742.5 | 申请日: | 2016-08-17 |
公开(公告)号: | CN106323541B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 刘斌;张晓梅;曾春辉;冯家豪;杨晓风 | 申请(专利权)人: | 成都凯赛尔电子有限公司 |
主分类号: | G01L21/30 | 分类号: | G01L21/30 |
代理公司: | 成都领航高智知识产权代理有限公司 51285 | 代理人: | 王斌 |
地址: | 610500 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开一种X射线管真空度的检测方法,包括以下步骤:步骤1,将电流表与钛泵串联后与电源连接,该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通;步骤2,将所述电流表的档位调节为μA档,将所述电源的输出电压调节至2‑4kV,读取所述电流表的读数I0,得到所述X射线管的本底电流I0;以及步骤3,在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片,将所述电流表的档位调节为mA档,将所述电源的输出电压调节至3.8‑4.2kV,读取所述电流表的读数Ii,若Ii‑I0=0时,则P≤3×10‑5Pa;P为X射线管的真空度,单位为Pa;Ii为离子电流,单位为μA。它通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求,以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。 | ||
搜索关键词: | 电流表 钛泵 读取 输出电压调节 档位调节 离子电流 检测 电源 标记位置 电源连接 真空空间 排气管 磁片 生产工艺 连通 串联 | ||
【主权项】:
1.一种X射线管真空度的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,将电流表与钛泵串联后与电源连接,该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通;步骤2,将所述电流表的档位调节为μA档,将所述电源的输出电压调节至2‑4kV,读取所述电流表的读数I0,得到所述X射线管的本底电流I0;以及步骤3,在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片,将所述电流表的档位调节为mA档,将所述电源的输出电压调节至3.8‑4.2kV,读取所述电流表的读数Ii,若Ii‑I0=0时,则P≤3×10‑5Pa;其中,P为X射线管的真空度,单位为Pa;Ii为离子电流,单位为μA。
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