[发明专利]准直器定位组件以及其定位方法

摘要

一种准直器定位组件，包括驱动器；由驱动器驱动的载体，载体上限定有至少两个准直位置；位置初始化组件，其用于设定载体的零位；编码器，其检测载体相对零位运动的第一实际位置信息；位置确认组件，其用于当载体在任一准直位置时反馈第二实际位置信息；存储器；以及控制器，其用于根据编码器检测的第一实际位置信息与存储器存储的与待定位的准直位置所对应的第一预定位置信息来控制驱动器驱动载体直至编码器检测的第一实际位置信息与存储器存储的与待定位的准直位置所对应的第一预定位置信息一致；并且根据位置确认组件反馈的第二实际位置信息与存储器存储的与待定位的准直位置所对应的第二预定位置信息比对以反馈校验信息。

主权项

一种准直器定位组件，其固定到基板上，所述准直器定位组件包括：驱动器；由所述驱动器驱动而运动的载体，所述载体上限定有能对准射束的至少两个准直位置；位置初始化组件，其用于当所述载体运动时设定所述载体的零位；编码器，其与所述载体耦合以检测所述载体相对所述零位运动的第一实际位置信息；位置确认组件，其用于当所述载体在任一准直位置时反馈第二实际位置信息；存储器，其存储有任一准直位置相对所述零位的第一预定位置信息以及在任一准直位置处所述位置确认组件所对应的唯一的第二预定位置信息；以及控制器，其耦接到所述驱动器、所述编码器、所述位置初始化组件和所述位置确认组件，用于根据所述编码器检测的第一实际位置信息与所述存储器存储的与待定位的准直位置所对应的第一预定位置信息来控制所述驱动器驱动所述载体直至所述编码器检测的第一实际位置信息与所述存储器存储的与待定位的准直位置所对应的第一预定位置信息一致；并且根据所述位置确认组件反馈的第二实际位置信息与所述存储器存储的与待定位的准直位置所对应的第二预定位置信息比对以反馈校验信息。