[发明专利]激光加工装置及方法有效
| 申请号： | 201610753873.9 | 申请日： | 2016-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN106271048B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 王梅梅;李忠乾;费康杰;赵思;涂叙安;马国东;夏瑞雪;李福海;尹建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/073 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 余哲玮 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光加工装置及方法；激光加工装置包括：激光发射器，所述激光发射器能够发出激光；驱动机构，设置于所述激光发射器的一侧；棱镜，所述棱镜与所述驱动机构相联动，所述驱动机构能够驱动所述棱镜运动，以使所述棱镜进入所述激光发射器发出的激光的路径，并对所述激光发射器发出的激光进行反射；倍频片，所述棱镜能够将所述激光发射器发出的激光反射至所述倍频片上，所述激光发射器能够发出激光在所述倍频片上形成可见光形成的光斑图像；及，检测机构，所述检测机构能够采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析。上述激光加工装置及方法能够对光斑进行实时监控。 | ||
| 搜索关键词： | 激光发射器 棱镜 激光加工装置 光斑图像 驱动机构 激光 倍频 可见光 光斑 激光反射 实时监控 联动 反射 采集 驱动 分析 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，用于加工晶圆，其特征在于，包括：激光发射器，所述激光发射器能够发出激光以对所述晶圆进行加工；驱动机构，设置于所述激光发射器的一侧；棱镜，所述棱镜与所述驱动机构相联动，所述驱动机构能够驱动所述棱镜运动，以使所述棱镜进入所述激光发射器发出的激光的路径，并对所述激光发射器发出的激光进行反射；倍频片，所述棱镜能够将所述激光发射器发出的激光反射至所述倍频片上，所述激光发射器能够发出激光在所述倍频片上形成可见光形成的光斑图像；及检测机构，所述检测机构能够采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析；所述检测机构包括相机及分析模块，所述相机与所述分析模块通信连接，所述相机朝向所述倍频片，以采集所述光斑图像的信息，并将所述光斑图像的信息发送至所述分析模块进行分析，以判断光斑是否变异。
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