[发明专利]用于刀具的多层复合涂层、刀具及其制备方法有效
| 申请号： | 201610782688.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106283053B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 张芹 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于刀具的多层复合涂层、刀具及其制备方法，所述多层复合涂层，包括周期性交替沉积的多个涂层单元，所述涂层单元包括依次沉积的交替沉积的Cr1‑xAlxN层、Cr1‑yZryN层、ZrN层和Cr1‑yZryN层；其中，0≤x≤0.70，0.30≤y≤0.70；所述方法采用物理气相沉积多靶交替沉积的方法，在刀具本体上分别通过CrAl靶、CrZr靶、Zr靶和CrZr靶交替沉积Cr1‑xAlxN层、Cr1‑yZryN层、ZrN层和Cr1‑yZryN层，得到成周期性交替沉积的Cr1‑xAlxN/Cr1‑yZryN/ZrN/Cr1‑yZryN多层复合涂。 | ||
| 搜索关键词： | 多层复合涂层 刀具 交替沉积 沉积 周期性交替 涂层单元 制备 物理气相沉积 刀具本体 多层复合 多靶 | ||
【主权项】：
1.一种用于刀具的多层复合涂层，其特征在于，包括周期性交替沉积的多个涂层单元，所述涂层单元包括依次沉积的交替沉积的Cr1‑xAlxN层、Cr1‑yZryN层、ZrN层和Cr1‑yZryN层；其中，0≤x≤0.70，0.30≤y≤0.70；所述Cr1‑xAlxN层、Cr1‑yZryN层、ZrN层的单层厚度均为2～10nm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司，未经艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610782688.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
