[发明专利]流体控制装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201610801490.4 申请日: 2016-09-05
公开(公告)号: CN107795467B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 陈世昌;张英伦;吴祥涤;黄启峰;韩永隆;廖家淯;程政玮 申请(专利权)人: 研能科技股份有限公司
主分类号: F04B43/04 分类号: F04B43/04;F04B53/22
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 李昕巍;章侃铱
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种流体控制装置的制造方法,包含:(a)提供壳体、压电致动器及可变形基座结构,压电致动器由压电元件及振动板所构成,振动板具有第一表面及相对应的第二表面,第二表面具有突出部,可变形基座结构包含流通板及挠性板,挠性板具有可动部;(b)将挠性板及流通板相互堆叠接合构成可变形基座结构;以及(c)依序将壳体、压电致动器及可变形基座结构相互堆叠定位接合组装后,并实施于外部施加至少一作用力的同步变形作业,使挠性板及流通板产生同步变形,让构成挠性板的可动部与流通板的突出部之间定义出一特定深度。
搜索关键词: 流体 控制 装置 制造 方法
【主权项】:
一种流体控制装置的制造方法,包含:(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构,该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成,该振动板具有第一表面及相对应的第二表面,该第二表面具有一突出部,该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板,该流通板具有一外部表面,该挠性板具有一可动部;(b)将该挠性板及该流通板相互堆叠接合构成该可变形基座结构;以及(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠进行定位接合组装后,并实施于外部施加至少一作用力的一同步变形作业,以使该可变形基座结构的该挠性板及该流通板产生同步变形,让该挠性板的该可动部与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。
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