[发明专利]模具和传递模塑成型装置有效
| 申请号： | 201610804057.6 | 申请日： | 2016-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107199717B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 前田竹识;松岛良二;川口诚;涌井正明 | 申请（专利权）人： | 东芝存储器株式会社 |
| 主分类号： | B29C70/54 | 分类号： | B29C70/54;B29C70/48 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 张谟煜;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及模具和传递模塑成型装置。本发明的实施方式提供一种成型性良好的模具和传递模塑成型装置。根据实施方式，模具包括：基板夹紧面、腔部、吸引部、出口部、中间腔以及开闭部。基板夹紧面与被处理基板的表面接触。腔部从基板夹紧面后退。吸引部从基板夹紧面后退。出口部，设置于腔部与吸引部之间的路径上，与腔部连结，成为腔部内的气体的排出路径，从基板夹紧面后退出口部深度。中间腔，在路径上设置于出口部与吸引部之间，与出口部连结，从基板夹紧面后退比出口部深度深的中间腔深度。开闭部，在路径上设置于中间腔与吸引部之间，对路径进行开闭。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 传递 塑成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种模具，具备：基板夹紧面，其与被处理基板的表面接触；腔部，其从所述基板夹紧面后退而成；吸引部，其从所述基板夹紧面后退而成；出口部，其设置于所述腔部与所述吸引部之间的路径上，与所述腔部连结，成为所述腔部内的气体的排出路径，从所述基板夹紧面后退出口部深度而成；中间腔，其在所述路径上设置于所述出口部与所述吸引部之间，与所述出口部连结，从所述基板夹紧面后退比所述出口部深度深的中间腔深度而成；以及开闭部，其在所述路径上设置于所述中间腔与所述吸引部之间，对所述路径进行开闭。
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