[发明专利]形成背接触太阳能电池发射极的方法

摘要

本发明描述了形成背接触太阳能电池的发射极的方法。在一个实施例中，一个方法包括在基板上方形成第一固态掺杂剂源。所述第一固态掺杂剂源包括通过间隙分开的多个区域。通过印刷而在所述基板上方形成第二固态掺杂剂源的区域。

主权项

一种形成背接触太阳能电池发射极的方法，所述方法包括：通过化学气相沉积在基板上方形成第一导电类型的第一固态掺杂剂源，所述第一固态掺杂剂源包括通过间隙分开的多个区域；通过印刷而在所述基板上方在所述第一固态掺杂剂源的所述多个区域的所述间隙中形成不与所述第一固态掺杂剂源的所述多个区域接触的第二导电类型的第二固态掺杂剂源的区域，其中所述第一导电类型与所述第二导电类型相反；在形成所述第一固态掺杂剂源之前，在所述基板上形成薄介质层；以及在所述薄介质层上形成多晶硅层，其中所述第一固态掺杂剂源和所述第二固态掺杂剂源在所述多晶硅层上形成。