[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201610810585.2 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN106841682A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 小沟公一郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够减少物理量的检测精度的下降的物理量传感器、具备该物理量传感器的物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有基座基板(2)；可动部(53)，其被配置成能够相对于基座基板(2)进行位移；检测电极(61)，其被设置于基座基板(2)的可动部(53)侧，且与可动部(53)对置配置；导电膜(59)，其被设置于可动部(53)的基座基板(2)侧，且与检测电极(61)对置配置，检测电极(61)与导电膜(59)的功函数差为0.4eV以下。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 装置 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；可动部，其被配置成能够相对于所述基板进行位移；电极，其被设置于所述基板的所述可动部侧，且与所述可动部对置配置；导电部，其被设置于所述可动部的所述基板侧，且与所述电极对置配置，所述电极与所述导电部的功函数差为0.4eV以下。
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