[发明专利]MEMS装置、液体喷射头和它们的制造方法、液体喷射装置有效
| 申请号： | 201610811780.7 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107020808B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 长沼阳一;平井荣树;滨口敏昭;高部本规 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力产生室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率与品质。本发明的特征在于，包括：第一基板(33)；第二基板(29)，其与第一基板(33)层压配置，并在第一基板(33)侧具有压电元件(32)，第一基板(33)与第二基板(29)为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时，第一基板(33)的端部(33a)与第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置处。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 液体 喷射 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统装置的制造方法，其特征在于，所述微机电系统装置具有：第一基板；第二基板，其与所述第一基板层压配置，并在所述第一基板侧具有功能元件，所述微机电系统装置的制造方法具有：在形成有多个所述第一基板的第三基板与形成有多个所述第二基板的第四基板之间配置粘合剂层，并且以在俯视观察时所述第一基板的端部与所述第二基板的端部被配置在大致相同的位置处的方式而对所述第三基板与所述第四基板进行接合的工序；将所述第三基板与所述第四基板切断，并将所形成的多个所述第一基板以及所述第二基板分片化的工序。
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