[发明专利]振子、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201610821869.1 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107036590A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 黄威,苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种振子、电子设备以及移动体，其能够降低可动部的朝向基板的粘着。振子(1)具有基板(2)；检测用翼板(47)，其以与基板(2)对置的方式而配置；梁部(48)，其为能够弹性变形，并对检测用翼板(47)以能够相对于基板(2)而在Z轴方向上位移的方式进行支承，在梁部(48)的复原力大于被形成在基板(2)与检测用翼板(47)之间的静电力的范围内，检测用翼板(47)向基板(2)侧位移。即，在将静电力和复原力相等的边界设为牵入临界L时，检测用翼板(47)在与牵入临界L相比靠上方的区域内进行位移。 | ||
| 搜索关键词： | 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种振子，其特征在于，具有：基板；可动部；其以与所述基板对置的方式而配置；梁部，其能够弹性变形，并对所述可动部以能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式进行支承，在所述梁部的复原力大于在所述基板和所述可动部之间形成的静电力的范围内，所述可动部向所述基板侧位移。
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