[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201610822063.4 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107024203A | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5747 | 分类号： | G01C19/5747 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 黄威,苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有基板(2)；检测用翼板(47)，其以与基板(2)对置的方式而配置；质量部(41)，其对检测用翼板(47)进行支承；梁部(48)，其对检测用翼板(47)和质量部(41)进行连结；第一限制部(61)，其位于检测用翼板(47)与质量部(41)之间，并对检测用翼板(47)的向面内方向的位移进行限制。此外，第一限制部(61)被设置于呈矩形形状的检测用翼板(47)的角部处。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；支承部，其对所述可动板进行支承；梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。
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