[发明专利]吸盘装置以及元件转移方法有效
| 申请号： | 201610839842.5 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN107856041B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陈铭如;吴建德 | 申请（专利权）人： | 欣兴电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;H05K13/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾桃园市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种吸盘装置以及元件转移方法，其吸盘装置用以吸取至少一元件。吸盘装置包括静电吸盘以及图案化导电层。图案化导电层配置于静电吸盘上，具有暴露出部分静电吸盘的至少一开口，其中当静电吸盘通电时，经由至少一开口暴露出来的静电吸盘诱发至少一元件与其之间产生偶极‑偶极力，使得至少一元件经由至少一开口被吸附于部分静电吸盘上。本发明提供的吸盘装置藉由诱发元件与其之间产生偶极‑偶极力来吸附元件，本发明另提供的元件的转移方法能避免静电力击穿元件。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 装置 以及 元件 转移 方法 | ||
【主权项】：
一种吸盘装置，用以吸取至少一元件，其特征在于，包括：静电吸盘；以及图案化导电层，配置于所述静电吸盘上，具有暴露出部分所述静电吸盘的至少一开口，其中当所述静电吸盘通电时，经由所述至少一开口暴露出来的所述静电吸盘诱发所述至少一元件与其之间产生偶极‑偶极力，使得所述至少一元件经由所述至少一开口被吸附于部分所述静电吸盘上。
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