[发明专利]基板对准装置

摘要

本发明涉及一种基板对准装置，利用在基板上形成的目标标记及在对象上形成的对象标记从而执行关于基板目标对准的基板对准装置，其特征在于，包括摄像机腔室，在真空腔室内部中提供独立密封的大气压收容空间，及对准摄像机，设置于摄像机腔室内部，并且拍摄目标标记及对象标记，及腔室移动单元，使摄像机腔室在真空腔室内部移动，从而可以缩短对准摄像机的运转距离，并且可以调整关于记号的对准摄像机聚焦区域。

主权项

一种基板对准装置,利用在基板上形成的目标标记和在对象上形成的对象标记从而执行关于基板的目标对准，其特征在于，包括：摄像机腔室，在真空腔室内部中提供独立密封的大气压收容空间；对准摄像机，设置于摄像机腔室内部，并且拍摄目标标记和对象标记；以及腔室移动单元，使摄像机腔室在真空腔室内部中移动。