[发明专利]一种变频它激式射频发生器有效
| 申请号： | 201610862455.3 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN106656172B | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 李毅;郭洪民 | 申请（专利权）人： | 北京锐光仪器有限公司 |
| 主分类号： | H03L7/099 | 分类号： | H03L7/099;H03L7/02 |
| 代理公司： | 北京市东方至睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11485 | 代理人： | 霍金虎 |
| 地址： | 102206 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种变频它激式射频发生器，属于射频技术领域。该变频它激式射频发生器包括压控振荡单元、功率检测单元和鉴频器单元；所述鉴频器单元用于根据检测到的负载射频网络的频率值向所述压控振荡单元发送调整频率的控制信号，所述功率检测单元用于将检测到的所述压控振荡单元的功率值发送给所述鉴频器单元。本发明通过鉴频器单元根据负载射频网络的频率值的变化输出正信号或负信号，并反馈至压控振荡单元，从而实现对输出频率的调整，使负载射频网络处于等效阻抗为50欧姆的状态，不仅具有较好的稳定性及可以标定的输出功率，而且响应速度较快，避免由于负载变化过大导致失谐使等离子炬熄灭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变频 射频 发生器 | ||
【主权项】：
一种变频它激式射频发生器，其特征在于，包括压控振荡单元、功率检测单元和鉴频器单元；所述鉴频器单元用于根据检测到的负载射频网络的频率值向所述压控振荡单元发送调整频率的控制信号，所述功率检测单元用于将检测到的所述压控振荡单元的功率值发送给所述鉴频器单元。
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