[发明专利]气体激光振荡器有效
| 申请号： | 201610862671.8 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107146999B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 本田昌洋 | 申请（专利权）人： | 发那科株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/03 | 分类号： | H01S3/03 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种具备辅助电极的气体激光振荡器。本发明的气体激光振荡器的特征在于，具有：包括第一路径和第二路径的多个激光气体循环路径；设置于第一路径的第一放电管；设置于第二路径的第二放电管；激光电源，其向第一放电管供给第一高频电力，向第二放电管供给相位与第一高频电力的相位不同的第二高频电力；以及匹配单元，其包括用于与第一路径的放电负载取得阻抗匹配的第一线圈和第一电容器、以及用于与第二路径的放电负载取得阻抗匹配的第二线圈和第二电容器，其中，第一线圈和第二线圈以及第一电容器和第二电容器的各值是以使施加于第一放电管和施加于第二放电管的电压的峰值之差处于规定范围的方式决定的。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 激光 振荡器 | ||
【主权项】：
1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具有：多个激光气体循环路径，该多个激光气体循环路径包括第一路径和第二路径；第一放电管，其设置于所述第一路径；第二放电管，其设置于所述第二路径；激光电源，其向所述第一放电管供给第一高频电力，向所述第二放电管供给相位与所述第一高频电力的相位不同的第二高频电力；以及匹配单元，其包括用于与所述第一路径中的放电负载取得阻抗匹配的第一线圈和第一电容器、以及用于与所述第二路径中的放电负载取得阻抗匹配的第二线圈和第二电容器，其中，所述第一线圈、所述第一电容器、所述第二线圈以及所述第二电容器的各值是以使施加于所述第一放电管的电压的峰值与施加于所述第二放电管的电压的峰值之差处于500[V]～1000[V]的范围的方式决定的。
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