[发明专利]驻波干涉显微镜在审
| 申请号： | 201610863720.X | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107014786A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | R.道姆;X.韦格勒 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G02B21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 周学斌,陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种宽场干涉显微镜，其包括—样品保持器，用于在分析位置处保持样品；—照明器，用于用输入辐射来照射样品，从而促使其发射荧光；—一对投影系统，布置在所述分析位置的相对侧处，以收集所述荧光的至少一部分并将相应的一对光束指引到光学组合元件的各对输入，其在那里进行光学干涉；—检测器装置，用于检查来自所述组合元件的输出光，其中—照明器被配置成在分析位置处产生输入辐射的驻波；—所述检测器装置恰好包括两个干涉检测分支。 | ||
| 搜索关键词： | 驻波 干涉显微镜 | ||
【主权项】：
一种宽场干涉显微镜，包括：—样品保持器，用于在分析位置处保持样品；—照明器，用于用输入辐射来照射样品，从而促使其发射荧光；—一对投影系统，布置在所述分析位置的相对侧处，以收集所述荧光的至少一部分并将相应的一对光束指引到光学组合元件的各对输入，其在那里进行光学干涉；—检测器装置，用于检查来自所述组合元件的输出光，其特征在于：—照明器包括光学腔体，其被配置成在分析位置处产生输入辐射的驻波；—所述检测器装置恰好包括两个干涉检测分支。
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