[发明专利]基板污染物分析装置及基板污染物分析方法

摘要

本发明公开一种基板污染物分析装置及基板污染物分析方法。根据本发明的基板污染物分析方法，包括隔着时间间隔向所述分析对象基板顺次供应用于蚀刻分析对象基板的蚀刻溶液的液滴和用于所述蚀刻溶液的稀释的稀释溶液的液滴的过程，所述蚀刻溶液及所述稀释溶液通过流路向所述喷嘴输送。根据本发明，具有在晶圆的特定地点获得深度方向的掺杂分布图的效果，尤其，使用扫描溶液稀释蚀刻溶液，从而，相比只使用蚀刻溶液的情况，使得试料的量增大，由此，能够更加容易地通过分析仪进行分析，并降低污染物的残留现象。

主权项

一种基板污染物分析装置，作为在分析对象基板上利用喷嘴捕集污染物后进行分析的基板污染物分析装置，其特征在于，所述喷嘴包括喷嘴尖头部，在所述喷嘴尖头部的内侧沿着纵向形成有排气通道，该排气通道成为排出在蚀刻所述分析对象基板的过程中发生的气体的通道。