[发明专利]激光退火设备以及通过使用其制造显示设备的方法

摘要

本申请涉及一种激光退火设备以及通过使用其制造显示设备的方法。所述激光退火设备，包括：衬底支承单元，对衬底进行支承；激光光束照射单元，将在第一方向上延伸的线激光光束照射至设置在衬底上的非晶硅层，衬底位于衬底支承单元上；衬底移动单元，使衬底支承单元在与第一方向交叉的第二方向上移动；以及第一光束切割件和第二光束切割件，布置在衬底支承单元和激光光束照射单元之间，其中，第一光束切割件和第二光束切割件进行移动以增大或减小衬底的遮蔽区域，从而对照射至衬底的在非晶硅层的外部部分处的部分的线激光光束的至少一部分进行遮蔽，遮蔽区域是衬底的与第一光束切割件或第二光束切割件以及线激光光束重叠的区域。

主权项

一种激光退火设备，包括：衬底支承单元，对衬底进行支承；激光光束照射单元，将在第一方向上延伸的线激光光束照射至设置在所述衬底上的非晶硅层，所述衬底位于所述衬底支承单元上；衬底移动单元，使所述衬底支承单元在与所述第一方向交叉的第二方向上移动；第一光束切割件，布置在所述衬底支承单元和所述激光光束照射单元之间；以及第二光束切割件，布置在所述衬底支承单元和所述激光光束照射单元之间，且与所述第一光束切割件间隔开，其中，所述第一光束切割件和所述第二光束切割件进行移动以增大或减小所述衬底的遮蔽区域，以对照射至所述衬底的在所述非晶硅层之外的部分的所述线激光光束的至少一部分进行遮蔽，所述遮蔽区域是所述衬底的与所述第一光束切割件和所述第二光束切割件中的至少一个以及所述线激光光束重叠的区域。