[发明专利]基板处理方法和基板处理装置

摘要

本发明提供一种能够提供背面无污斑的基板的基板处理方法和基板处理装置。实施方式所涉及的基板处理方法包括第一面清洗工序、第二面清洗工序、水分去除工序、防水化工序以及干燥工序。第一面清洗工序对基板的第一面供给包含水分的第一清洗液。第二面清洗工序对与第一面相反一侧的面即第二面供给包含水分的第二清洗液。水分去除工序在第二面清洗工序后去除残存在基板的第二面的水分。防水化工序在水分去除工序后对基板的第一面供给防水剂。干燥工序在防水化工序后使基板干燥。

主权项

一种基板处理方法，其特征在于，包括：第一面清洗工序，对基板的第一面供给包含水分的第一清洗液；第二面清洗工序，对与所述第一面相反一侧的面即第二面供给包含水分的第二清洗液；水分去除工序，在所述第二面清洗工序之后在不使所述第一面暴露于外部空气的状态下去除残存在所述基板的所述第二面的水分；防水化工序，在所述水分去除工序之后，对所述基板的所述第一面供给防水剂；以及干燥工序，在所述防水化工序之后，使所述基板干燥。