[发明专利]粒子光学系统及布置与用于该系统及布置的粒子光学组件有效
| 申请号： | 201610905526.3 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN107104029B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | D.蔡德勒;T.凯曼;P.安格;A.卡萨里斯;C.里德赛尔 | 申请（专利权）人： | 以色列实用材料有限公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/21;H01J37/28;H01J37/317;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带电粒子多小波束系统，其包含带电粒子源(301)；具有多个孔的第一多孔径板(320)，其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板(313)，具有多个孔；载体(340)，其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器(350)，构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外。其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 光学系统 布置 用于 系统 光学 组件 | ||
【主权项】：
一种带电粒子多小波束系统，包含：带电粒子的源；具有多个孔径的第一多孔径板，其布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游；第一多孔径选择器板，具有多个孔径；载体，其中所述第一多孔径选择器板安装在所述载体上；致动器，构造为移动所述载体，使得在所述系统的第一操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述系统的带电粒子束路径中所述源的下游，并且使得在所述系统的第二操作模式中将所述第一多孔径选择器板布置在所述带电粒子束路径之外；其中，所述源、所述第一多孔径板和所述载体被布置为使得在所述第一操作模式中，在所述第一多孔径板和所述第一多孔径选择器板二者下游的位置处产生第一数量的带电粒子小波束，并且使得在所述第二操作模式中，在所述位置处产生第二数量的带电粒子小波束，其中小波束的第一数量与小波束的第二数量不同。
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