[发明专利]一种液晶显示器面板制造中的周边曝光方法有效
| 申请号： | 201610913587.4 | 申请日： | 2016-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN106249553B | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王强;赵辉;沙双庆;金杨林 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子信息科技股份有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液晶显示器面板制造中的周边曝光方法，包括通过对掩膜版的周边区域进行曝光使母基板上形成N层薄膜周边图案，其中N≥3，N层薄膜由深色材料膜层和浅色材料膜层组成，第1层薄膜周边图案为衡量标尺；第2～N层中，上下相邻的浅色材料膜层构成浅色材料膜层组，所述的浅色材料膜层组中至少有两层周边图案位置部分重合或全部重合，深色材料膜层周边图案与其上方的任意一层浅色材料膜层周边图案位置不重合，任意两个深色材料膜层周边图案位置不重合。本发明能够减小每个独立周边图案的基板使用面积，提高母基板有效区域利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶显示器 面板 制造 中的 周边 曝光 方法 | ||
【主权项】：
一种液晶显示器面板制造中的周边曝光方法，包括通过掩膜版的周边区域进行曝光使母基板上形成N层薄膜周边图案，其中N≥3，其特征在于，N层薄膜由深色材料膜层和浅色材料膜层组成，第1层薄膜周边图案为衡量标尺；第2～N层中，上下相邻的浅色材料膜层构成浅色材料膜层组，所述的浅色材料膜层组中至少有两层周边图案位置部分重合或全部重合，深色材料膜层周边图案与其上方的任意一层浅色材料膜层周边图案位置不重合，任意两个深色材料膜层周边图案位置不重合；深色材料为金属材料，浅色材料为非金属材料。
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