[发明专利]一种工件台非正交校正方法及校正装置

摘要

本发明公开了一种工件台非正交校正方法及校正装置，该装置包括：非正交测量标记，设置在工件台上用于承载基板的粗动旋转台上，所述非正交测量标记至少设有三个，且不在一条直线上；视觉单元，用于获得所述非正交测量标记的位置；干涉仪测量单元，用于测量所述工件台的位置；还包括校正单元，根据所述非正交测量标记在粗动旋转台坐标系下的名义位置、所述视觉单元获得的所述非正交测量标记的位置以及所述工件台的位置计算所述工件台的非正交量，并发送至所述干涉仪测量单元进行补偿校正。本发明有效解决了工件台面型在曝光过程中受热形变对TP控制精度的影响，从而降低材料的使用成本。

主权项

一种工件台非正交校正方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在工件台上用于承载基板的粗动旋转台上设置非正交测量标记，所述非正交测量标记至少设有三个，且不在一条直线上；S2：选取三个所述非正交测量标记，移动工件台，使视觉单元分别对准三个所述非正交测量标记，获得三个所述非正交测量标记的位置，同时通过干涉仪测量单元测量对准时所述工件台的位置x_s_i、y_s_i，其中i＝1,2,3；S3：根据所述视觉单元测得的三个所述非正交测量标记的位置及所述视觉单元在整机零位坐标系下的位置，计算三个所述非正交测量标记在整机零位坐标系下的位置x_PZCS_i、y_PZCS_i，并结合所述工件台的位置x_s_i、y_s_i计算三个所述非正交测量标记在工件台坐标系下的测量位置x_PSCS_i、y_PSCS_i：x_PSCS_iy_PSCS_i=x_PZCS_iy_PZCS_i-x_s_iy_s_i;]]>S4：根据三个所述非正交测量标记在工件台坐标系下的测量位置x_PSCS_i、y_PSCS_i和在所述粗动旋转台坐标系下的名义位置x_PTCS_i，y_PTCS_i计算所述工件台的非正交量Non_ortho：x_PSCS_iy_PSCS_i=Mpux00Mpuycos(rpux)-sin(rpuy)sin(rpux)cos(rpuy)x_PTCS_iy_PTCS_i+cpuxcpuy,i=1,2,3;]]>Non_ortho＝rpux‑rpuy；cpux、cpuy表示三个所述非正交测量标记相对于工件台的平移量；rpux、rpuy表示三个所述非正交测量标记相对于工件台在X、Y向的旋转量；Mpux表示三个所述非正交测量标记相对于工件台在X、Y方向的膨胀量；S5：将测量得到的工件台的非正交量相对预设的标准基板的非正交量的变化值作为补偿量，并补偿到所述干涉仪测量单元中。