[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供一种成膜装置。该成膜装置在真空容器内使旋转台旋转，而使旋转台上的多个基板依次通过处理气体的供给区域，由此在基板上成膜，其包括凹部，其在所述旋转台的一面侧沿着周向设有多个，形成为分别收纳所述基板；载置部，其用于在所述凹部内支承基板的比周缘部靠中央的部位；槽部，其为环状，形成为在所述凹部内包围所述载置部；连通路，其包括连通槽或连通孔，该连通槽或连通孔形成为在从所述载置部的中心进行观察时从所述槽部的靠所述旋转台的旋转中心侧的区域连通到该凹部的外部的区域；以及排气口，其用于对所述真空容器内进行真空排气。

主权项

一种成膜装置，在真空容器内使旋转台旋转，而使旋转台上的多个基板依次通过处理气体的供给区域，由此在基板上成膜，其中，该成膜装置包括：凹部，其在所述旋转台的一面侧沿着周向设有多个，形成为分别收纳所述基板；载置部，其用于在所述凹部内支承基板的比周缘部靠中央的部位；槽部，其为环状，形成为在所述凹部内包围所述载置部；连通路，其由连通槽或连通孔形成，该连通槽或连通孔形成为在从所述载置部的中心进行观察时从所述槽部的靠所述旋转台的旋转中心侧的区域连通到该凹部的外部的区域；以及排气口，其用于对所述真空容器内进行真空排气，所述外部的区域是与所述凹部相邻的其他凹部内的载置部的周围的环状的槽部或者所述旋转台的外周缘的外侧。