[发明专利]一种柔性材料的双面曝光方法及装置在审
| 申请号： | 201610973545.X | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108073044A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 俞庆平 | 申请（专利权）人： | 俞庆平 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光曝光技术，具体涉及一种柔性材料的双面曝光方法及装置。目前对柔性材料的曝光需要较多的辅助措施，同时无法做到连续曝光和双面同时曝光。本发明提供一种柔性材料的双面曝光方法及装置，本发明采用多对卷辊将柔性卷取后绷紧，两个卷辊之间绷紧的柔性材料可以提供一个稳定的曝光平面，在这个稳定的曝光平面的两边分别安置一个曝光装置，卷辊转动带动柔性材料前行，柔性材料的前行过程中，曝光设备工作，可以连续不断地对柔性材料的上下表面进行曝光操作。曝光设备的光学系统上安装有一个主动聚焦模块，可以保证曝光头和柔性材料的表面等距，确保曝光质量。本发明相对于现有技术，能够大幅提高柔性材料的曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性材料 双面曝光 卷辊 曝光平面 曝光设备 绷紧 曝光 前行 辅助措施 光学系统 激光曝光 聚焦模块 连续不断 连续曝光 曝光操作 曝光效率 曝光装置 上下表面 曝光头 等距 卷取 转动 两边 安置 保证 | ||
【主权项】：
1.一种柔性材料的双面曝光方法，其特征在于包含以下步骤：（1）带状柔性材料绷紧在多个卷辊之间；（2）在卷辊之间紧绷的带状柔性材料，其两侧面的上方均设置有曝光装置；（3）卷辊转动带动带状柔性材料运动，运动过程中，步骤（2）中所述的曝光装置对带状柔性材料进行曝光。
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