[发明专利]一种抗超高温氧化ZrC/TaC微叠层涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201611028893.6 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN108070836A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 徐敬军;杨甜甜;李美栓;钱余海;左君 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于表面热防护技术领域，具体为一种抗超高温氧化ZrC/TaC微叠层涂层的制备方法，该方法利用反应磁控溅射制备ZrC/TaC微叠层涂层，适用于碳/碳复合材料的超高温防护。采用多靶磁控溅射涂层设备，金属Zr靶、Ta靶和非金属C靶分别由独立的直流电源控制，以氩气作为溅射气体和载气，通过反应溅射制备ZrC/TaC微叠涂层，多层的微叠层结构通过基体在Zr靶、C靶和Ta靶、C靶前交替沉积形成，通过调节靶功率和沉积时间控制各亚层的厚度。该涂层的结构特点可有效减小1600～1800℃区间的热应力，阻止涂层发生开裂和剥落。本发明工艺和操作方法简便，便于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 微叠层 制备 抗超高温 碳/碳复合材料 多靶磁控溅射 反应磁控溅射 直流电源控制 表面热防护 氩气 反应溅射 溅射气体 交替沉积 时间控制 涂层设备 超高温 热应力 剥落 沉积 多层 减小 亚层 载气 防护 金属 | ||
【主权项】：
1.一种抗超高温氧化ZrC/TaC微叠层涂层的制备方法，其特征在于，采用多靶磁控溅射涂层设备，金属Zr靶、Ta靶和非金属C靶分别由独立的直流电源控制，以氩气作为溅射气体和载气，通过反应溅射制备ZrC/TaC微叠涂层，多层的微叠层结构通过基体在Zr靶、C靶和Ta靶、C靶前交替沉积形成，通过调节靶功率和沉积时间控制各亚层的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院金属研究所，未经中国科学院金属研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611028893.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
