[发明专利]连续镀膜设备在审
| 申请号： | 201611036611.7 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108085708A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 刘品均;杨峻杰;陈松醮;蔡明展;林子平 | 申请（专利权）人： | 友威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台湾桃园市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种连续镀膜设备，包含有依序设置的一载入腔室、一电浆清洁腔室以及一镀膜腔室，用以对一基板进行清洁，该电浆清洁腔室包含有一承载件、一电极、多个辅助电极以及一电源供应件，该承载件用以承载该基板，该电极设置于该基板远离该承载件的一侧，该些辅助电极设置于该电极相邻于该承载件的一侧且各具有一放电端，该些放电端分别对应于该基板的一侧边，该电源供应件电性连接于该电极与该些辅助电极，借由使该些放电端对应于该基板的该侧边，可以对该侧边进行电浆清洁，以去除铜绿、氧化铜等氧化物，进而提升该侧边的附着力并降低阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 承载件 辅助电极 电极 放电端 侧边 电浆 连续镀膜设备 电源供应 清洁腔室 附着力 铜绿 电极设置 电性连接 镀膜腔室 清洁 氧化铜 氧化物 腔室 去除 阻抗 载入 承载 | ||
【主权项】：
1.一种连续镀膜设备，包含有依序设置的一载入腔室、一电浆清洁腔室以及一镀膜腔室，用以对一基板进行清洁，其特征在于，该电浆清洁腔室包含有：一用以承载该基板的承载件；一设置于该基板远离该承载件的一侧的电极；多个辅助电极，该辅助电极设置于该电极相邻于该承载件的一侧且各具有一放电端，该放电端分别对应于该基板的一侧边；以及一电性连接于该电极与该辅助电极的电源供应件。
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