[发明专利]一种废液收集杯的排风切换装置及其方法在审
| 申请号： | 201611042315.8 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN108080222A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 尹宁;谷德君 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆旋转涂覆的工艺技术领域，具体地说是一种废液收集杯的排风切换装置及其方法。所述装置包括分风盒、主风道、接口及排风切换机构，其中分风盒上设有分风盒进风口和分风盒出风口，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道上设有主风道进风口，所述接口的两端分别与所述分风盒出风口和所述主风道进风口连通，所述接口的侧壁上设有配风口，所述排风切换机构安装在接口上，用于所述分风盒出风口和配风口之间的排风切换。本发明主要用于旋转涂覆的工艺单元内各个废液收集杯的排风风量切换，可以切换各个废料收集杯内部不同排风量、且相互之间没有干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 分风盒 排风 废液收集杯 进风口 出风口 主风道 切换装置 旋转涂覆 配风口 工艺技术领域 废料收集 工艺单元 机构安装 排风风量 排风口 排风量 侧壁 晶圆 主风 连通 | ||
【主权项】：
1.一种废液收集杯的排风切换装置，其特征在于，包括分风盒(1)、主风道(2)、接口(3)及排风切换机构，其中分风盒(1)上设有分风盒进风口和分风盒出风口(9)，所述分风盒进风口与废液收集杯的排风口连接，所述主风道(2)上设有主风道进风口(10)，所述接口(3)的两端分别与所述分风盒出风口(9)和所述主风道进风口(10)连通，所述接口(3)的侧壁上设有配风口(4)，所述排风切换机构安装在接口(3)上，用于所述分风盒出风口(9)和配风口(4)之间的排风切换。
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