[发明专利]用于附着玻璃与掩模的设备及方法、以及用于装载基板的系统及方法

摘要

一种基板装载系统，包括：托盘传送线，装载有基板的托盘沿所述托盘传送线传送；基板返回线，设置于所述托盘传送线的一侧，并且在所述基板被装载于所述托盘上之后，沿所述托盘传送线传送的所述托盘沿所述基板返回线返回；以及多重基板对准及装载腔室，设置于所述托盘传送线及所述基板返回线的一侧，具有多个基板装载位置，所述基板在所述基板装载位置处被对准并装载于沿所述托盘传送线传送的所述托盘上，且其中在选自所述多个基板装载位置的一个基板装载位置处，所述基板被对准并装载于所述托盘上。

主权项

1.一种基板装载系统，其特征在于，包括：托盘传送线，装载有基板的托盘沿所述托盘传送线传送；基板返回线，设置于所述托盘传送线的一侧，在所述基板被装载于所述托盘上之后，沿所述托盘传送线传送的所述托盘沿所述基板返回线返回；以及多重基板对准及装载腔室，设置于所述托盘传送线及所述基板返回线的一侧，具有多个基板装载位置，所述基板在所述基板装载位置处被对准并装载于沿所述托盘传送线传送的所述托盘上，且其中在选自所述多个基板装载位置的一个基板装载位置处，所述基板被对准并装载于所述托盘上，其中，所述多个基板装载位置包括第一基板装载位置及第二基板装载位置，所述第一基板装载位置位于相对于所述基板返回线的基板返回方向的左侧与右侧之一，其中沿所述托盘传送线传送的第一托盘被传送，所述第二基板装载位置设置于与所述第一基板装载位置相对的侧，其中沿所述托盘传送线传送的第二托盘被传送；以及托盘分配腔室，连接至所述托盘传送线及所述多重基板对准及装载腔室，并朝所述第一基板装载位置及所述第二基板装载位置选择性地分配所述第一托盘及所述第二托盘。