[发明专利]光学测量装置有效
申请号: | 201611059428.9 | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN107063127B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 森野久康;高岛润;的场贤一;早川雅之;藤原直树;丸川真理子 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B11/245 | 分类号: | G01B11/245;G01J3/10;G01J3/02;G01J3/28 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 崔炳哲 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种光学测量装置,通过提高光的利用效率,能够实现更高采样率。光学测量装置具有:光源,其产生具有多个波长成分的照射光;光学系统,其对来自光源的照射光产生轴向色差,并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光;分光器,其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光;检测器,其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为,在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时,多个受光元件中入射该第一光的受光元件,与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时,多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。 | ||
搜索关键词: | 光学 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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