[发明专利]应用于测试的裸芯片结构及其制造方法有效
申请号: | 201611064905.0 | 申请日: | 2016-11-28 |
公开(公告)号: | CN106847719B | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 左瑜 | 申请(专利权)人: | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/26 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710054 陕西省西安市高新区高新路8*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种应用于测试的裸芯片结构及其制造方法。该结构100包括:主PCB板101、副PCB板102、裸芯片103、焊盘104/106、键合丝105/107、垫片110、金属排针111、保护罩112及电气绝缘油114;垫片110粘结主PCB板101上且裸芯片103粘结垫片110上;焊盘104环绕于裸芯片103四周并设置于主PCB板101上且通过键合丝105与裸芯片103的金属PAD连接;副PCB板102位于焊盘104外围并粘结主PCB板101上且通过金属插针111与主PCB板101实现电气连接;焊盘106设置于副PCB板102上且通过键合丝107与裸芯片103的金属PAD连接;保护罩112粘结于主PCB板101上并在其内部注入电气绝缘油114。本发明中,结构呈高低高阶梯状,提高了单位面积上键合丝的密度,能够保证裸芯片粘结时金属PAD免受污染,避免裸芯片和键合丝在空气中氧化。 | ||
搜索关键词: | 应用于 测试 芯片 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种应用于测试的裸芯片结构(100),其特征在于,包括:主PCB板(101)、副PCB板(102)、裸芯片(103)、第一焊盘(104)、第一键合丝(105)、第二焊盘(106)、第二键合丝(107)、垫片(110)、金属排针(111)、保护罩(112)及电气绝缘油(114);其中,所述垫片(110)粘结于所述主PCB板(101)上且所述裸芯片(103)粘结于所述垫片(110)上;所述第一焊盘(104)交错环绕于所述裸芯片(103)四周并设置于所述主PCB板(101)上且通过所述第一键合丝(105)与所述裸芯片(103)的金属PAD连接;所述主PCB板(101)设置有第一通孔(108),所述副PCB板(102)对应设置有第二通孔(109),所述金属插针(111)插入对应设置的所述第一通孔(108)及所述第二通孔(109)以实现所述主PCB板(101)和所述副PCB板(102)的电气连接;所述副PCB板(102)位于所述第一焊盘(104)外围并粘结于所述主PCB板(101)上且通过所述金属插针(111)与所述主PCB板(101)实现电气连接;所述第二焊盘(106)交错排列于所述副PCB板(102)上且通过所述第二键合丝(107)与所述裸芯片(103)的金属PAD连接;所述保护罩(112)粘结于所述主PCB板(101)上且将所述副PCB板(102)、所述裸芯片(103)、所述第一焊盘(104)、所述第一键合丝(105)、所述第二焊盘(106)、所述第二键合丝(107)及所述垫片(110)封装于其内部,并在其内部注入所述电气绝缘油(114);所述保护罩(112)上表面设置有两个开孔(113);其中一个开孔(113)用于注射所述电气绝缘油(114)且另一个开孔(113)用于排气并观察是否有所述电气绝缘油(114)溢出以确定所述保护罩(112)内是否存满所述电气绝缘油(114)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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