[发明专利]用于设计半导体器件的方法及系统

摘要

一种设计半导体器件的方法包括：为多个单元中的每一单元的布局建立边界条件，其中每一单元具有多个特征，且边界条件是基于每一特征相对于对应单元的单元边界的邻近性而建立。所述方法包括基于用于制造所述半导体器件的层的掩模的数目、对所述多个特征的最小间距要求、以及所建立的边界条件来判断每一单元的布局是否是可着色的。所述方法包括通过使所述多个单元中的第一单元贴靠所述多个单元中的第二单元来形成所述半导体器件的所述层的布局。所述方法包括报告所述半导体器件的所述层的布局是可着色的，而不分析所述半导体器件的所述层的所述布局。

主权项

一种用于设计半导体器件的系统，其特征在于，所述系统包括：非暂时性计算机可读媒体，用于存储指令；以及处理器，耦合至所述非暂时性计算机可读媒体，其中所述处理器用以执行所述指令以：为多个单元中的每一单元的布局建立边界条件，其中所述多个单元中的每一单元具有多个特征，且为所述多个单元中的每一单元的所述布局建立边界条件是基于所述多个特征中的每一特征相对于所述多个单元中的对应单元的单元边界的邻近性；基于用于制造所述半导体器件的层的掩模的数目、对所述多个特征的最小间距要求、以及所述所建立的边界条件来判断所述多个单元中的每一单元的所述布局是否是可着色的；通过使所述多个单元中的第一单元贴靠所述多个单元中的第二单元来形成所述半导体器件的所述层的布局；以及报告所述半导体器件的所述层的所述布局是可着色的，而不分析所述半导体器件的所述层的所述布局。