[发明专利]测试组件及其监控显示面板电性特性的方法、显示面板

摘要

本发明提供了一种用于监控显示面板电性特性的测试组件，设置于显示面板的非显示区，所述测试组件至少包括：浅孔测试元件、深孔测试元件及半接孔测试元件，所述浅孔测试元件用于获取浅孔中源漏极金属层与像素电极层的接触阻抗大小，所述深孔测试元件用于获取深孔中栅极金属层与像素电极层的接触阻抗大小，所述半接孔测试元件用于获取半接孔中像素电极层分别与源漏极金属层和栅极金属层的接触阻抗大小。本发明还提供了一种具有该测试组件的显示面板以及利用该测试组件监控显示面板的电性特性的方法本发明通过设置三种测试元件，能够实时监控像素电极层覆盖深孔、浅孔或半接孔后其的电阻大小，从而实时监控薄膜晶体管中过孔的缺陷，降低生产风险。

主权项

1.一种用于监控显示面板电性特性的测试组件，设置于所述显示面板的非显示区，其特征在于，所述测试组件至少包括：浅孔测试元件、深孔测试元件及半接孔测试元件，所述浅孔测试元件用于获取浅孔中源漏极金属层与像素电极层的接触阻抗大小，所述深孔测试元件用于获取深孔中栅极金属层与像素电极层的接触阻抗大小，所述半接孔测试元件用于获取半接孔中像素电极层分别与源漏极金属层和栅极金属层的接触阻抗大小；其中，所述半接孔测试元件包括：栅极金属层，设置于基板上；栅极绝缘层，设置于所述基板和所述栅极金属层上；有源层，设置于所述栅极绝缘层上；源漏极金属层，设置于所述有源层上；钝化层，设置于所述源漏极金属层和所述栅极绝缘层上；半接孔，形成于所述钝化层、所述源漏极金属层、所述有源层及所述栅极绝缘层中，所述半接孔将所述栅极金属层暴露；像素电极层，设置于所述钝化层上，所述像素电极层通过所述半接孔与所述源漏极金属层和所述栅极金属层接触。