[发明专利]基板与外接电路的绑定方法有效
申请号: | 201611124359.5 | 申请日: | 2016-12-08 |
公开(公告)号: | CN106653808B | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 许杰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种基板与外接电路的绑定方法,在进行热压工艺之前对所述异方性导电胶膜进行预处理,且所述异方性导电胶膜中导电粒子的表面具有刺状突起,能够在保证电导通效果的同时,提高后续热压工艺中异方性导电胶膜的反应效率,降低热压工艺的加热加压条件,从而降低基板被压伤而破片的风险;并且,在进行热压工艺之前还在所述基板预进行绑定的区域上形成保护膜,后续在通过热压工艺使基板与外接电路电导通的过程中,导电粒子的刺状突起需要先刺穿保护膜再刺入导电粒子下方的第一电极中,从而在热压工艺中保护膜对基板起到了一定的缓冲保护作用,进一步降低了基板被压伤而破片的风险。 | ||
搜索关键词: | 外接 电路 绑定 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基板与外接电路的绑定方法,其特征在于,包括如下步骤:/n步骤1、提供基板(10),所述基板(10)上具有数个第一电极(11),在所述基板(10)上形成一层覆盖数个第一电极(11)的有机绝缘材料的保护膜(12);/n步骤2、提供异方性导电胶膜(20),所述异方性导电胶膜(20)包括树脂层(21)及分布于树脂层(21)中的导电粒子(22),所述导电粒子(22)的表面具有刺状突起;对所述异方性导电胶膜(20)进行预处理,将所述异方性导电胶膜(20)对应所述数个第一电极(11)贴附在所述保护膜(12)上;/n步骤3、提供外接电路(30),所述外接电路(30)具有与所述数个第一电极(11)相对应的数个第二电极(31),将所述外接电路(30)放置于所述异方性导电胶膜(20)上,并使所述数个第二电极(31)与数个第一电极(11)一一对准,通过热压工艺,使所述导电粒子(22)的刺状突起刺穿保护膜(12)而刺入导电粒子(22)下方的第一电极(11)中,并使导电粒子(22)的刺状突起刺入导电粒子(22)上方的第二电极(31)中,从而使所述基板(10)与外接电路(30)通过异方性导电胶膜(20)的导电粒子(22)实现电导通,完成基板(10)与外接电路(30)的绑定;/n所述步骤2中,通过加热、镭射、或紫外光照射的方法对所述异方性导电胶膜(20)进行预处理,使得所述异方性导电胶膜(20)发生反应;/n所述步骤3的热压工艺中,采用120-180℃的温度条件、及1-5MPa的压力条件,对异方性导电胶膜(20)进行加热加压,时间为2-8s;/n所述导电粒子(22)包括树脂内核(24)、包覆所述树脂内核(24)的镍层(25)、及包覆所述镍层(25)的金层(26);所述镍层(25)与金层(26)的外表面均具有刺状突起;/n所述树脂内核(24)的形状为球状。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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