[发明专利]扩散源温度的调控方法及装置

摘要

本发明涉及一种扩散源温度的调控方法及装置，所述方法包括：实时获取扩散源的当前剩余体积；在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；若是，则提高所述扩散源的温度。本发明在太阳能晶体硅电池的生产过程，实时获取生产过程中扩散源的当前剩余体积，并根据当前剩余体积判断是否需要提高扩散源温度，如果需要，则提高扩散源的温度；由此，在生产过程中，当前剩余体积的减少，会导致方阻偏大，此时为保持方阻的稳定性，可以提高扩散源的温度降低方阻，使方阻保持稳定；同时，不反应气体相对携带的扩散源量也会增加，防止不反应气体在扩散源的液位降低时导致携带的扩散源量减小，从而提高太阳能电池的工艺参数的稳定性。

主权项

1.一种扩散源温度的调控装置，其特征在于，所述装置包括：液位传感器，用于实时获取扩散源的当前剩余体积；判断模块，用于在所述当前剩余体积下判断是否需要提高所述扩散源的温度；提高模块，用于在所述判断模块判断需要提高所述扩散源的温度时，则提高所述扩散源的温度；其中，所述判断模块包括：获取模块，用于在所述当前剩余体积下获取对应的方阻值；差值检测模块，用于检测所述方阻值与预设值之间的差值是否大于预设差值，所述预设值为剩余体积为100％时对应的方阻值；第一判断模块，用于在所述差值检测模块检测到所述方阻值与预设值之间的差值大于预设差值时，则判断需要提高所述扩散源的温度；所述提高模块包括：变化值获取模块，用于根据所述方阻值与预设值之间的差值获取需要增加的所述扩散源的温度变化值；第一提高模块，用于将所述扩散源的当前温度提高至所述扩散源的当前温度与需要增加的温度变化值之和。