[发明专利]探针卡

摘要

本发明提供一种探针卡包含配线板、顶盖、伸缩结构与探针。顶盖耦合配线板，且顶盖具有进气孔。伸缩结构连接顶盖，且伸缩结构包含第一环与第二环。第一环具有通气孔，顶盖具有底表面面对第一环，第一环具有顶表面面对顶盖，第一环的顶表面与顶盖的底表面共同定义匀化空间，匀化空间连通进气孔与通气孔。第二环能移动地与第一环相耦合，且第二环具有喷气孔，喷气孔连通通气孔，第二环具有背对顶盖的底表面，喷气孔的出口位于第二环的底表面，第一环的内侧壁与第二环的内侧壁共同定义压力空间。探针电性连接配线板，并延伸至压力空间中。探针卡适用于高气压环境并提高测试效能及效率，并降低探针卡因不必要地接触到待测物而对待测物造成破坏的机会。

主权项

一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包含：一配线板；一顶盖，所述顶盖耦合所述配线板，所述顶盖上具有至少一进气孔；一伸缩结构，所述伸缩结构连接所述顶盖，所述伸缩结构包含：一第一环，所述第一环上具有多个通气孔，所述顶盖具有一底表面，所述顶盖的底表面面对所述第一环，所述第一环具有一顶表面，所述第一环的顶表面面对所述顶盖，所述第一环的顶表面与所述顶盖的底表面共同定义一匀化空间，所述匀化空间连通所述顶盖的所述进气孔与所述第一环的所述通气孔；以及一第二环，所述第二环能移动地与所述第一环相耦合，且所述第二环上具有多个喷气孔，多个所述喷气孔连通多个所述通气孔，所述第二环具有背对所述顶盖的一底表面，多个所述喷气孔的出口位于所述第二环的底表面，其中，所述第一环的内侧壁与所述第二环的内侧壁共同定义一压力空间；以及至少一探针，所述探针电性连接所述配线板，并且所述探针延伸至所述压力空间中。