[发明专利]一种晶圆扫描清洗摆臂装置

摘要

本发明公开了一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体和支撑板，第一壳体的侧壁上焊接有支撑板，所述支撑板的顶端设有固定座，固定座的内部设有第一电动机，第一电动机的输出轴连接有偏心轮，偏心轮的顶端粘连有三个吸盘，所述第一壳体的内部设有第一连接臂，第一连接臂与第一壳体活动连接，第一连接臂的顶端延伸至第一壳体的上方，第一连接臂的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸，第一气缸的活塞杆焊接有第二连接臂，第二连接臂与第一凹槽的侧壁滑动连接。本发明能够对晶圆的双面均进行清洗，翻转方便快捷，不需要手工操作，能从多个角度对晶圆进行扫描清洗，清洗效果好，工作效率高。

主权项

1.一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体（1）和支撑板（4），第一壳体（1）的侧壁上焊接有支撑板（4），其特征在于，所述支撑板（4）的顶端设有固定座（5），固定座（5）的内部设有第一电动机（6），第一电动机（6）的输出轴连接有偏心轮（7），偏心轮（7）的顶端粘连有三个吸盘（8），所述第一壳体（1）的内部设有第一连接臂（3），第一连接臂（3）与第一壳体（1）活动连接，第一连接臂（3）的顶端延伸至第一壳体（1）的上方，第一连接臂（3）的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸（2），第一气缸（2）的活塞杆焊接有第二连接臂（20），第二连接臂（20）与第一凹槽的侧壁滑动连接，第二连接臂（20）的顶端焊接有水平设置的横杆（10），横杆（10）的一侧内部设有空腔，空腔内设有水平设置的第二电动机（11），第二电动机（11）的输出轴连接有喷嘴安装座（12），喷嘴安装座（12）的底端连接有喷嘴装置（13），所述横杆（10）的底端连接有翻转夹持装置（9），翻转夹持装置（9）包括连接杆（91），连接杆（91）的顶端焊接在横杆（10）上，连接杆（91）的底端焊接有第二壳体（93），第二壳体（93）的内部设有第三电动机（92），第三电动机（92）的输出轴连接有夹持箱（95），夹持箱（95）的内部设有第二气缸（94），第二气缸（94）的活塞杆铰接有活动夹板（96），活动夹板（96）延伸至夹持箱（95）的外部，夹持箱（95）远离第二壳体（93）的一侧侧壁上连接有固定夹板（97），固定夹板（97）和活动夹板（96）的中间位置相互铰接，且夹持箱（95）位于偏心轮（7）的一侧。