[发明专利]一种单台面直写式曝光机

摘要

本发明提供了一种单台面直写式曝光机，属于曝光机领域，其包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方。与现有技术相比，该单台面直写式曝光机采用一套标定模块完成标定，标定流程简单，标定位置准确，第一驱动模组和第二驱动模组协同作用并结合标定模组使标定模块的行程能够一次性完成整个曝光镜头的能量标定。

主权项

1.一种单台面直写式曝光机，包括底座，底座上设有龙门立柱，龙门立柱上设有X轴向排列的曝光镜头，其特征在于：还包括工作台，工作台上设有底架、处于底架上的用于标定曝光镜头的标定模块以及用于驱动标定模块X轴方向滑动的标定模组，工作台下方设有用于驱动工作台X轴方向滑动的第一驱动模组，底座上设有用于驱动工作台Y轴方向滑动的第二驱动模组，第一驱动模组设置在第二驱动模组上方；标定模组包括X轴方向设置在底架上的丝杆、驱动丝杆转动的丝杆电机以及连接丝杆和丝杆电机的联轴器，标定模块套在丝杆上；标定模组还包括设置在底架上用于限制标定模块移动位置的限位开关；第一驱动模组包括X轴方向设置的第一基板、X轴方向设置在第一基板上的第一滑轨和沿着第一滑轨滑动的第一滑板，第一基板上设有第一定子组，第一滑板内设有用于驱动第一滑板滑动的第一动子组，第一动子组与第一定子组配合，工作台设置在第一滑板上；第二驱动模组包括Y轴方向固定在底座上的第二基板、Y轴方向设置在第二基板上的第二滑轨和沿着第二滑轨滑动的第二滑板，第二基板上设有第二定子组，第二滑板内设有用于驱动第二滑板滑动的第二动子组，第二动子组与第二定子组配合，第二基板穿过龙门立柱，第一基板设置在第二滑板上。