[发明专利]可更换子板的探针卡及其使用方法

摘要

本发明涉及一种探针卡，包含一母板、一中介体、一设于母板的子板对应区上方且有电子元件的子板及一设有探针的探针头，母板上表面的电性接点区分出一第一测试区、位于子板对应区与第一测试区之间的一第二测试区及位于子板对应区内的一中介体连接区，电性接点包含分别位于所述三区的第一、二测试接点及中介体连接点，子板下表面设有中介体连接点，中介体连接母板及子板的中介体连接点，部分第一、二测试接点及部分探针与子板电性连接，各探针与第一或第二测试接点电性连接；由此，所述探针卡可符合高频测试需求，且可随不同测试需求更换子板，以节省成本。

主权项

一种可更换子板的探针卡，其特征在于包含有：一母板，具有朝向相反方向的一上表面及一下表面、多个设于所述上表面的电性接点、一子板对应区，以及一位于所述子板对应区内的探针区，所述各电性接点将所述母板的上表面区分出一邻接所述母板一周缘的第一测试区、位于所述子板对应区与所述第一测试区之间的至少一第二测试区，以及位于所述子板对应区内的至少一中介体连接区，所述母板的电性接点包含有多个位于所述第一测试区的第一测试接点、多个位于所述第二测试区的第二测试接点，以及多个位于所述中介体连接区的中介体连接点；一子板，设有至少一电子元件，所述子板具有朝向相反方向的一上表面及一下表面，所述子板的下表面具有至少一中介体连接区，所述子板的中介体连接区设有多个中介体连接点；至少一中介体，连接所述母板的中介体连接点及所述子板的中介体连接点，使得所述子板以其下表面朝向所述母板的上表面且位置对应所述子板对应区地设置于所述母板上方，所述各第一测试接点及第二测试接点其中一部分与所述母板的中介体连接点电性连接并通过所述中介体与所述子板电性连接；一探针头，设于所述母板的下表面，所述探针头设有位置对应于所述探针区的多个探针，各所述探针与所述各第一测试接点及第二测试接点至少其中之一电性连接，部分的所述探针通过所述母板及所述中介体与所述子板电性连接。