[发明专利]铝靶材制作方法有效
| 申请号： | 201611185638.2 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108202292B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;曹欢欢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种铝靶材的制作方法，首先形成铝板，对所述铝板进行喷砂，将喷砂后的铝板制作成铝靶材。由于金属铝具有延展性强且硬度低的特点，采用滚压的抛光方式易将杂质压入金属内部，使其难以去除。喷砂方式是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处理的工件表面，由于砂粒对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度。因此采用喷砂方式可以有效避免抛光所带来的问题，从而提高形成铝靶材的洁净度。此外，相较于抛光方式，喷砂方式去除铝板表面氧化物及其杂质的速率较高，从而提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 铝靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种铝靶材的制作方法，其特征在于，包括：形成铝板；对所述铝板进行喷砂；将喷砂后的铝板制作成铝靶材。
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