[发明专利]一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法在审
| 申请号： | 201611187891.1 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106807460A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 胡海鑫;吴金东 | 申请（专利权）人： | 深圳太辰光通信股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 518040 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法，包括以下步骤S1、将图案刻入到可拆卸模具的衬底上；S2、配制PDMS胶，注入到步骤S1中的所述模具，之后进行脱泡、固化处理，形成所述微流通道；S3、拆卸所述模具的侧壁，再将步骤S2中所述微流通道从所述衬底上剥离下来，得到所述微流通道。通过采取可拆卸模具制备微流通道模具，采用PDMS胶制备微流通道，取出制备好的微流通道时，先将模具的侧壁从模具上拆卸下来，再将微流通道从衬底上剥离出来，保证了微流通道的完整性，方法简单实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平面 波导 传感器 芯片 流通 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于平面波导传感器芯片的微流通道的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将图案刻入到可拆卸模具的衬底上；S2、配制PDMS胶，注入到步骤S1中的所述模具，之后进行脱泡、固化处理，形成所述微流通道；S3、拆卸所述模具的侧壁，再将步骤S2中所述微流通道从所述衬底上剥离下来，得到所述微流通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳太辰光通信股份有限公司，未经深圳太辰光通信股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611187891.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种微流控芯片及其制备方法、应用
- 下一篇：一种氮化硅坩埚
