[发明专利]适用于柔性基板的热真空干燥装置

摘要

本发明提供一种适用于柔性基板的热真空干燥装置，通过将热真空干燥装置内的第一支撑销(5)、第二支撑销(6)均分别改进为镶嵌结构或层套结构，能够加速热传导，使得基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的接触部分、及基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的非接触部分之间的温差减小、受热均匀，从而减少由支撑销引起的支撑痕迹，并允许适当增加中间区域的支撑销数量，减轻因基板下垂引起的膜厚不均现象。

主权项

1.一种适用于柔性基板的热真空干燥装置，其特征在于，包括一密封腔室(1)、固定在所述密封腔室(1)下部的下加热板(2)、固定在所述密封腔室(1)上部的上加热板(3)、设于所述密封腔室(1)下方的升降器(4)、固定于所述升降器(4)并受升降器(4)驱动而升降的数个第一支撑销(5)、以及固定在所述下加热板(2)上的数个第二支撑销(6)；所述第一支撑销(5)或第二支撑销(6)用以支撑涂覆有有机材料药液的基板(7)置于下加热板(2)与上加热板(3)之间进行烘烤；所述第一支撑销(5)与第二支撑销(6)分别采用镶嵌结构和层套结构，以加速热传导，使得基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的接触部分、及基板(7)与第一支撑销(5)或第二支撑销(6)的非接触部分之间的温差减小；所述第一支撑销(5)采用镶嵌结构，包括基底部(51)、过渡部(52)、及顶部(53)；所述基底部(51)包括长圆柱体(511)、及凸出于长圆柱体(511)上端并与其同轴的小圆柱体(512)；所述小圆柱体(512)的直径小于长圆柱体(511)的直径；所述过渡部(52)嵌套在所述小圆柱体(512)外侧与长圆柱体(511)上端，所述顶部(53)嵌套在所述过渡部(52)上；所述基底部(51)、过渡部(52)、及顶部(53)选用不同的材质使得顶部(53)的热传导能力高于过渡部(52)，过渡部(52)的热传导能力高于基底部(51)。