[发明专利]锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器有效
| 申请号： | 201611208018.6 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106654471B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | 章乐;李九生 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器。它包括基底层、二氧化硅层、右侧矩形二硫化钼薄膜、右侧锯齿形二硫化钼薄膜、中间锯齿形二硫化钼薄膜、左侧锯齿形二硫化钼薄膜、左上矩形二硫化钼薄膜、左下矩形二硫化钼薄膜、信号输入端、第一信号输出端、第二信号输出端；当无外加电压时，太赫兹信号从信号输入端输入，从信号第一输出端输出，当在二硫化钼薄膜与基底层之间添置偏置直流电压时，可以通过改变偏置电压实现调节二硫化钼薄膜的有效介电常数，使太赫兹信号从信号输入端输入，从第二信号输出端输出，实现太赫兹信号的可调滤波效果。本发明具有结构简单紧凑，尺寸小，响应快，设计原理简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 锯齿状 二硫化钼 薄膜 结构 可调 赫兹 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种锯齿状二硫化钼薄膜结构可调太赫兹波滤波器，其特征在于包括基底层（1）、二氧化硅层（2）、右侧矩形二硫化钼薄膜（3）、右侧锯齿形二硫化钼薄膜（4）、中间锯齿形二硫化钼薄膜（5）、左侧锯齿形二硫化钼薄膜（6）、左上矩形二硫化钼薄膜（7）、左下矩形二硫化钼薄膜（8）、信号输入端（9）、第一信号输出端（10）、第二信号输出端（11）；基底层（1）的顶部表面铺有二氧化硅层（2），二氧化硅层（2）的顶部表面铺有右侧矩形二硫化钼薄膜（3）、右侧锯齿形二硫化钼薄膜（4）、中间锯齿形二硫化钼薄膜（5）、左侧锯齿形二硫化钼薄膜（6）、左上矩形二硫化钼薄膜（7）、左下矩形二硫化钼薄膜（8），右侧锯齿形二硫化钼薄膜（4）、中间锯齿形二硫化钼薄膜（5）和左侧锯齿形二硫化钼薄膜（6）自右向左顺序排列，右侧锯齿形二硫化钼薄膜（4）和左侧锯齿形二硫化钼薄膜（6）上下两侧均等距离分布三个形状大小相同的矩形开槽，中间锯齿形二硫化钼薄膜（5）上下各等距离分布四个矩形开槽形状大小相同的矩形开槽，右侧锯齿形二硫化钼薄膜（4）的右端与右侧矩形二硫化钼薄膜（3）的左端相连，左侧锯齿形二硫化钼薄膜（6）的左端与左上矩形二硫化钼薄膜（7）和左下矩形二硫化钼薄膜（8）的右端相连，右侧矩形二硫化钼薄膜（3）的右端与二氧化硅层（2）的右端相连，左上矩形二硫化钼薄膜（7）和左下矩形二硫化钼薄膜（8）的左端与二氧化硅层（2）的左端相连，右侧矩形二硫化钼薄膜（3）的右端设有第一信号输出端（10），左上矩形二硫化钼薄膜（7）的左端设有信号输入端（9），左下矩形二硫化钼薄膜（8）的左端设有第二信号输出端（11）；在二硫化钼薄膜与基底层之间加载偏置直流电压。
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