[发明专利]一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法在审
申请号: | 201611212422.0 | 申请日: | 2016-12-25 |
公开(公告)号: | CN108241005A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 青岛祥智电子技术有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266100 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨后取出置入真空烘箱中烘干;(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,再置入真空烘箱中烘烤;(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌后,再密闭超声后得到气敏浆料;本发明的有益效果是:采用配方、工艺参数设计合理,制备出的气敏浆料均匀,用该气敏浆料制备的半导体气敏元件敏感度高,各项性能优异。 | ||
搜索关键词: | 浆料 制备 半导体气敏元件 置入 真空烘箱 混合料 球磨机 工艺参数设计 二氧化钛 浆料制备 玻璃粉 敏感度 氧化锌 烘烤 烘干 密闭 超声 混匀 球磨 配制 配方 取出 | ||
【主权项】:
1.一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨5‑7小时后,取出置入真空烘箱中烘干20‑30分钟,烘干温度设定为140‑160℃;(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,搅拌时间为20‑30分钟,再置入真空烘箱中烘烤30‑40分钟,烘烤温度设定为200‑220℃;(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌10‑15分钟后,再密闭超声20‑25分钟后得到气敏浆料。
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