[发明专利]一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法在审

专利信息
申请号: 201611212422.0 申请日: 2016-12-25
公开(公告)号: CN108241005A 公开(公告)日: 2018-07-03
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 青岛祥智电子技术有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266100 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,其具体制备步骤为:(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨后取出置入真空烘箱中烘干;(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,再置入真空烘箱中烘烤;(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌后,再密闭超声后得到气敏浆料;本发明的有益效果是:采用配方、工艺参数设计合理,制备出的气敏浆料均匀,用该气敏浆料制备的半导体气敏元件敏感度高,各项性能优异。
搜索关键词: 浆料 制备 半导体气敏元件 置入 真空烘箱 混合料 球磨机 工艺参数设计 二氧化钛 浆料制备 玻璃粉 敏感度 氧化锌 烘烤 烘干 密闭 超声 混匀 球磨 配制 配方 取出
【主权项】:
1.一种半导体气敏元件气敏浆料的制备方法,主要组分及所占比例为:氧化锌40%、二氧化钛30%、玻璃粉5%、有机载料25%,其具体制备步骤为:(1)将氧化锌与二氧化钛混合置入球磨机中,并加入等质量的纯水,球磨5‑7小时后,取出置入真空烘箱中烘干20‑30分钟,烘干温度设定为140‑160℃;(2)将配制好的玻璃粉与步骤(1)中处理好的混合料混合后进行充分搅拌,搅拌时间为20‑30分钟,再置入真空烘箱中烘烤30‑40分钟,烘烤温度设定为200‑220℃;(3)将步骤(2)中处理好的混合料均匀投入有机载料中,混匀搅拌10‑15分钟后,再密闭超声20‑25分钟后得到气敏浆料。
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