[发明专利]晶圆打点坐标文件的转换方法、晶圆打点及控制方法

摘要

本发明提供一种晶圆打点坐标文件的转换、打点及控制方法，转换方法包括坐标转换步骤和头文件生成步骤，坐标转换步骤包括：获取坐标文件中的坐标信息，坐标信息包括打点标志、不打点标志、边缘标志和空白标志；将打点标志和边缘标志采用第一数字标志替换，将不打点标志采用第二数字标志替换，将空白标志采用第三数字标志替换；在同一行内的相邻的数字标志之间添加分隔标志；在每行的末尾添加终止标志，根据X步距、Y步距、晶圆的芯片的直径、起始位置坐标、X行进方向和Y行进方向生成头文件。通过本方案使得不同坐标文件，均能转换成统一的格式，以及根据实际晶圆情况生成头文件，完成坐标文件的兼容性转化，不仅兼容性高，可以节省成本。

主权项

打点装置的控制方法，其特征在于：所述打点装置包括X轴移动控制机构、Y轴移动控制机构和工作台，所述工作台用于承载晶圆；所述X轴移动控制机构控制所述工作台沿X轴移动；所述Y轴移动控制机构控制所述工作台沿Y轴移动；所述打点装置还包括支撑架和点墨机构，所述支撑架位于所述工作台的上方，所述支撑架上设置有多个工位；所述点墨机构包括固定组件和点墨组件，所述点墨组件对所述晶圆进行标记；所述固定组件包括安装件、第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一螺钉、第二螺钉和第三螺钉；所述安装件安装在所述工位上，所述安装件的上方设置有第一螺纹孔，所述第一连接件的下方与所述安装件的上方可移动地通过V形槽配合，所述第一螺钉与所述第一螺纹孔配合；所述第一连接件的上方设置有第二螺纹孔，所述第二连接件的下方与所述第一连接件的上方可移动地通过V形槽配合，所述第二螺钉与所述第二螺纹孔配合；所述第二连接件的侧面设置有第三螺纹孔，所述第三连接件的侧面与所述第二连接件的侧面可移动地通过V形槽配合，所述第三螺钉与所述第三螺纹孔配合；所述点墨组件可旋转地连接至所述第三连接件；所述控制方法包括坐标转换步骤、头文件生成步骤、调节步骤、和打点步骤，所述坐标转换步骤包括：获取坐标文件中的坐标信息，所述坐标信息包括打点标志、不打点标志、边缘标志和空白标志；将所述打点标志和所述边缘标志采用第一数字标志替换，将所述不打点标志采用第二数字标志替换，将所述空白标志采用第三数字标志替换；在同一行内的相邻的数字标志之间添加分隔标志；在每行的末尾添加终止标志，所述头文件生成步骤包括：获取X步距和Y步距；获取所述晶圆的芯片的直径；获取起始位置坐标；获取X行进方向和Y行进方向；根据所述X步距、所述Y步距、所述晶圆的芯片的直径、所述起始位置坐标、所述X行进方向和所述Y行进方向生成所述头文件；所述调节步骤包括：调节所述第一连接件在所述安装件的上方移动，并使用所述第一螺钉锁紧所述第一连接件；调节所述第二连接件在所述第一连接件的上方移动，并使用所述第二螺钉锁紧所述第二连接件；调节所述第三连接件在所述第二连接件的侧面上移动，并使用所述第三螺钉锁紧所述第三连接件；调节所述点墨组件的旋转角度，所述打点步骤包括：将所述晶圆放置在所述工作台上；通过所述X轴移动控制机构控制所述工作台沿X轴移动；通过所述Y轴移动控制机构控制所述工作台沿Y轴移动；根据经过坐标转换后的坐标文件和所述头文件，对所述第一数字标志对应的芯片打点，对所述第二数字标志和所述第三数字标志对应的芯片不打点。